如何选择优质的6英寸晶圆烘烤专用耐高温cassette

6英寸晶圆烘烤cassette， 采用AL7075+硬质氧化的表面处理让产品可以耐温350°的工艺。配备和6寸塑料花篮无缝对接的销钉，可以做到在和塑

料花篮对接的时候丝滑无阻碍。侧板设计了减轻槽，更加方便人员的抓取和拿放。顶部配备盖板和把手，底部采用H-bar结果，可以完美的和设备做卡位，无晃动。

在半导体精密制造的复杂流程里，6 寸金属提篮篮作为一项关键辅助器具，在晶圆烘烤制程中发挥着举足轻重的作用。晶圆烘烤是确保芯片性能

稳定、提升良品率的重要环节，而这款精心打造的 6 寸金属提篮则为该环节的顺利推进保驾护航。此款提篮专门针对晶圆烘烤这一特定制程需求而设计，精准适配6寸晶圆的尺寸规格，为晶圆在烘烤过程中的妥善放置提供了理想解决方案。其

核心制作材质为7075铝板，这一选择背后蕴含着深厚的材料科学智慧。7075铝板属于航空铝合金范畴，本身就具备一系列卓越特性，被广泛应

用于对强度和耐腐蚀性要求极高的航空航天领域。当它被运用到金属提篮制作时，更是将这些优势发挥得淋漓尽致。

在高温耐受性方面，该提篮表现非凡。在晶圆烘烤制程中，常常需要面临高达300度的高温环境，这对任何承载器具都是巨大的挑战。然而，得益

于 7075铝板出色的热稳定性，这款6寸金属提篮篮能够从容应对。即使长时间处于300度的高温烘烤之下，它依然能够保持自身结构的完整性，

丝毫不会出现变形、扭曲等影响晶圆放置精度的问题。这不仅确保了晶圆在烘烤过程中的平稳状态，更保障了整个烘烤制程的一致性和可靠性，

为后续芯片制造工序奠定了坚实基础。