晶圆提篮 耐温范围确认应用制程是关键

在晶圆载具选型时，晶圆提篮的耐温参数不能单独看数值，首要判断是应用在哪一道半导体制程，不同工序环境差异较大。

湿法清洗工序，载具长期浸泡在各类强腐蚀性化学药液中，洁净度要求高，一般推荐 PFA 材质晶圆提篮。PFA 抗化学侵蚀能力强，不易析出微粒污染晶圆，适用温度最高可达 200℃，适配清洗、去胶等湿法工艺。

高温退火工艺是另一套工况，炉内高温烘烤环境对载具的热稳定性提出很高要求。塑料材质在高温下易软化、变形甚至释放有机物，因此该场景推荐金属材质晶圆提篮，可稳定承受 300℃高温烘烤，高温下结构不变形，低颗粒、低释气，保护晶圆不受损伤。

所以在选型阶段，我们会先了解您的晶圆加工工艺、工作温度、洁净等级等信息，再推荐合适材质与耐温规格的晶圆提篮，规避晶圆碎片、表面污染等生产问题。

DOHONE 专注半导体精密防护载具，核心产品为金属耐高温晶圆提篮。6 寸、8 寸、12 寸标准型号常年备货，48 小时即可安排发货，快速响应客户紧急生产需求。针对特殊工艺工况，我们支持小批量定制服务，可按照客户需求调整产品结构、材质，定制不同耐温等级的晶圆提篮。