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6 英寸晶圆扩晶环提篮,匠心采用顶部卡扣式结构,可无缝适配车间自动化机器人,高效完成成品芯片的高速转运流转。载具内置精巧的自动落锁
机构,提起载具的瞬间,锁扣便自动闭合,严密封挡入料口,从根源规避扩晶环滑脱跌落的隐患;当载具归位至设备工位,落锁机构随即自动抬升
解锁,轻松实现扩晶环的快速收纳与存取。

巧妙的机械自锁设计,为物料全流程转运筑牢安全屏障,大幅降低芯片磕碰、掉落引发的物料损耗;同时简化上下料操作流程,赋能产线流畅运转,
显著提升芯片加工周转效率,高度匹配半导体行业现代化产线自动化连续生产的严苛需求。同时我们可以根据您公司的工艺需求进行非标定制,
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