不锈钢晶圆提篮：半导体高温退火工艺中的高精密载具解决方案

在半导体制造的湿法清洗、高温退火及自动化转运环节中，晶圆载具（Carrier/Cassette）的性能直接决定了晶圆的良率与工艺一致性。针对严苛的洁净室环境与高温制程需求，我们推出了一款专为高精密制程打造的不锈钢晶圆提篮，旨在为工程师提供稳定、可靠的晶圆承载方案。

结构性能：稳固可靠，机械强度优异

对于自动化产线（AMHS）而言，载具的机械强度至关重要。DOHONE不锈钢提篮在结构设计上进行了力学优化，整体结构稳固可靠，展现出优异的机械强度与耐久性能。

高平面度：有效防止晶圆在放置时因底座不平产生的应力集中，降低碎片风险。

高尺寸精度：确保提篮与自动化设备（如机械手、清洗机台）的完美适配，减少卡顿或取放失败的概率。

热稳定性：专为高温工艺设计

在高温制程中，普通材质的载具往往容易发生热膨胀或蠕变，导致晶圆位置偏移。本款晶圆提篮特别针对晶圆高温烘烤工艺进行了优化。

在反复多次的高温烘烤工况下，得益于304不锈钢的低热膨胀系数与优异的结构刚性，提篮整体不易发生形变。这种热稳定性能够：

1. 保障位置一致性：在高温退火工艺中，确保每一片晶圆在卡槽中的位置精准固定。

2. 降低工艺风险：有效减少因热变形导致的晶圆磕碰、滑片或偏移风险。